1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。2、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
3、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
4、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
5、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。
6、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。
7、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。
8、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
9、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。
10、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。
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