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“测量仪器”参数说明
| 轮廓仪： | 1800d |
“测量仪器”详细介绍
测量分辨率
—
0.1μm/±2.5mm/0.4μm/10mm/1μm/±25mm
X轴指示精度（横向）
—
±（1＋2L/100）μmL：测量长度（mm）
直线度精度
（0.05＋1.5L/1000）mm L＝测量长度（mm）
摩尔干涉光尺
测量方式
Z轴（纵向）
差动电压
点/直线/圆/部分圆/椭圆/最大点/最小点、距离、坐标差、极坐标差、直交/极坐标差表示
交叉要素点直线、直线直线、圆直线、圆圆、直线、椭圆、
对称要素（点点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）
坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动。
计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录、回放功能
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0.1μm/±2.5mm/0.4μm/10mm/1μm/±25mm
X轴指示精度（横向）
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±（1＋2L/100）μmL：测量长度（mm）
直线度精度
（0.05＋1.5L/1000）mm L＝测量长度（mm）
摩尔干涉光尺
测量方式
Z轴（纵向）
差动电压
点/直线/圆/部分圆/椭圆/最大点/最小点、距离、坐标差、极坐标差、直交/极坐标差表示
交叉要素点直线、直线直线、圆直线、圆圆、直线、椭圆、
对称要素（点点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）
坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动。
计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录、回放功能
